Óptica del sistema óptico de escaneo dinámico: 1 lente de enfoque pequeño, 1-2 lentes de enfoque, espejo Galvo. Toda la lente óptica forma una función de expansión del haz, enfoque, desviación y escaneo del haz.
La parte de expansión es una lente negativa, es decir, una lente de enfoque pequeño, que realiza la expansión del haz y el zoom en movimiento; la lente de enfoque está compuesta por un grupo de lentes positivas.El espejo galvo es un espejo en el sistema galvanométrico.
(1) Optimización del diseño de la lente: relación óptima entre diámetro y espesor
(2) Umbral de daño alto de la lente:>30J/cm2 10ns
(3) Recubrimiento de absorción ultrabaja, tasa de absorción: <20 ppm
(4) Relación entre espesor y diámetro del galvanómetro: 1:35
(5) Precisión de la superficie de la lente:<= λ/5
Lente post-objetivo
| Pupila de entrada máxima (mm) | Óptica 1 Diámetro(mm) | Óptica 2 Diámetro(mm) | Óptica 3 Diámetro(mm) | Campo de escaneo (mm) | Apertura clara del escáner (mm) | Longitud de onda |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
Espejo reflector
| Parte Descripción | Diámetro (mm) | Espesor(mm) | Material | Revestimiento |
| Reflector de silicio | 25.4 | 3 | Silicio | HR@10.6um,ÁOI: 45° |
| Reflector de silicio | 30 | 4 | Silicio | HR@10.6um,ÁOI: 45° |
| Reflector de fibra | 25.4 | 6.35 | Sílice fundida | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector de fibra | 30 | 5 | Sílice fundida | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector de fibra | 50 | 10 | Sílice fundida | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector 532 | 25.4 | 6 | Sílice fundida | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| Reflector 532 | 25.4 | 6.35 | Sílice fundida | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| Reflector 532 | 30 | 5 | Sílice fundida | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| Reflector 532 | 50 | 10 | Sílice fundida | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| Reflector 355 | 25.4 | 6 | Sílice fundida | HR@355nm y 433nm, AOI: 45° |
| Reflector 355 | 25.4 | 6.35 | Sílice fundida | HR@355nm y 433nm, AOI: 45° |
| Reflector 355 | 25.4 | 10 | Sílice fundida | HR@355nm y 433nm, AOI: 45° |
| Reflector 355 | 30 | 5 | Sílice fundida | HR@355nm y 433nm, AOI: 45° |
Espejo Galvo
| Parte Descripción | Pupila de entrada máxima (mm) | Material | Revestimiento | Longitud de onda |
| 55 mm de largo x 35 mm de ancho x 3,5 mm T-X 62 mm de largo x 43 mm de ancho x 3,5 mm T-Y | 30 | Silicio | MMR@10.6um | 10,6um |
| 55 mm de largo x 35 mm de ancho x 3,5 mm T-X 62 mm de largo x 43 mm de ancho x 3,5 mm T-Y | 30 | Sílice fundida | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55 mm de largo x 35 mm de ancho x 3,5 mm T-X 62 mm de largo x 43 mm de ancho x 3,5 mm T-Y | 30 | Sílice fundida | HR@532nm | 532nm |
| 55 mm de largo x 35 mm de ancho x 3,5 mm T-X 62 mm de largo x 43 mm de ancho x 3,5 mm T-Y | 30 | Sílice fundida | HR@355nm | 355nm |
Lente protectora
| Diámetro (mm) | Espesor (mm) | Material | Revestimiento |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
